1作業原理 ウェーファー結合は,ウェーファーレベルのパッケージング技術である.それは2つ以上の鏡に磨かれた同じまたは異なる材料のウェーファーを緊密に結合させる.この 包装 は 微妙 な 内部 構造 を 保護 し,機能 的 な 部品 を 安定 し たり,長期 使用 に 信頼 さ れ たり する. 粘着の際の多くの要因が粘着品質を傷つけ,インターフェースの欠陥を引き起こす.粘着品質をチェックする方法は多くなく,光学検査は最も一般的な方法の一つです.ワッフルの表面に光を照らす検出された反射された光信号や散らばった光信号に基づいて 欠陥を判断します SiC,GaAs,InPおよび他の半導体材料から成る...
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