ワッファー結合検査ソリューション

1作業原理

ウェーファー結合は,ウェーファーレベルのパッケージング技術である.それは2つ以上の鏡に磨かれた同じまたは異なる材料のウェーファーを緊密に結合させる.この 包装 は 微妙 な 内部 構造 を 保護 し,機能 的 な 部品 を 安定 し たり,長期 使用 に 信頼 さ れ たり する.

粘着の際の多くの要因が粘着品質を傷つけ,インターフェースの欠陥を引き起こす.粘着品質をチェックする方法は多くなく,光学検査は最も一般的な方法の一つです.ワッフルの表面に光を照らす検出された反射された光信号や散らばった光信号に基づいて 欠陥を判断します

SiC,GaAs,InPおよび他の半導体材料から成るキャリアプレートまたはウェーフの場合,これらの材料は半透明または不透明である.粘着の欠陥が見えません短波赤外線カメラは この物質をよく突き刺し 観測できます

この空っぽのゾーンの上と下面に光が反射される.通常結合された領域では,光が直接通過するカメラはこの光の違いを処理し,欠陥を区別するために画面に明瞭な光と暗いコントラストを表示します.

2利点

• 非接触性・損傷性:画像撮影に赤外線を使っているため,物理的な接触によりウエファーに痕跡や損傷が残らない.
• 迅速かつ高精度: ワッフル全体をスキャンしたり,小さな局所的な領域を拡大したりできます. 一発のショットで,検査は高速で正確に完了します.
• 検査結果 はっきり: 赤外線 光源 を 備えた 高感度 の InGaAs 赤外線 カメラ は 高解像度 で 高コントラスト の 画像 を 作成 し,欠陥 を 容易 に 見つけ ます.
• 幅広い用途:ほとんどのウエファー材料で動作し,すべての一般的なサイズのウエファーに適合します.
• ディスプレイと制御ソフトウェアが付属し,副開発もサポートします

3システム構成

検査システムには,光源,作業ステージ,赤外線カメラ,コンピュータの4つの主要部分があります. システムの構造は下図に示されています.

テスト中に カメラの高さとレンズ焦点距離を調整して 画像距離を変更します ワッファータイプと チェックすべき欠陥の大きさに基づいてです

上から下へは 赤外線カメラ 光学レンズ 結合晶状体 赤外線光源

4. 画像をテストする

短波赤外線カメラで撮影された様々な結合ウエフルの欠陥画像が赤外線照明源と一致します

5製品仕様

5.1 短波赤外線カメラ

5.2 短波赤外線レンズ

5.3 赤外線光源