Решение для контроля склейки пластин

1. Принцип работы

Склейка пластин — это технология корпусирования на уровне пластин. Она плотно соединяет две или более зеркально отполированные пластины из одинакового или разного материала. Эта упаковка защищает деликатные внутренние структуры пластин и делает функциональные части более стабильными и надежными для длительного использования.

Многие факторы во время склейки могут ухудшить качество склейки и вызвать дефекты на границе раздела. Существует не так много способов проверки качества склейки, и оптический контроль является одним из наиболее распространенных методов. Он направляет свет на поверхность пластины, а затем определяет дефекты на основе отраженных или рассеянных световых сигналов.

Для подложек или пластин из SiC, GaAs, InP и других полупроводниковых материалов, которые являются полупрозрачными или непрозрачными, видимый свет не может пройти четко, чтобы увидеть дефекты склейки. Камеры коротковолнового инфракрасного диапазона могут хорошо проникать через эти материалы для наблюдения.

Если между пластиной и подложкой есть непроклеенные участки (воздушные пузыри), свет будет многократно отражаться от верхних и нижних поверхностей этих пустых зон. В нормально склеенных областях свет проходит напрямую. Камера обрабатывает эту разницу в свете и отображает четкий контраст света и тени на экране, чтобы отличить дефекты.

2. Преимущества

• Бесконтактность и отсутствие повреждений: используется инфракрасное излучение для формирования изображения, поэтому на пластинах не остается следов или повреждений от физического контакта.
• Быстрота и высокая точность: может сканировать всю пластину или увеличивать небольшие локальные области. Один снимок завершает проверку с высокой скоростью и точностью.
• Четкие результаты проверки: высокочувствительные инфракрасные камеры InGaAs с источниками инфракрасного света создают изображения с высоким разрешением и высоким контрастом, что облегчает обнаружение дефектов.
• Широкое применение: работает с большинством материалов пластин и подходит для пластин всех стандартных размеров.
• Поставляется с программным обеспечением для отображения и управления, поддерживает вторичную разработку.

3. Состав системы

Система контроля состоит из четырех основных частей: источника света, рабочего стола, инфракрасной камеры и компьютера. Структура системы показана на рисунке ниже.

При тестировании отрегулируйте высоту камеры и фокусное расстояние объектива для изменения расстояния фокусировки в зависимости от типа пластины и размера дефектов, которые необходимо проверить.

Сверху вниз: инфракрасная камера, оптический объектив, склеенная пластина, источник инфракрасного света.

4. Тестовые изображения

Изображения дефектов различных склеенных пластин, полученные с помощью камеры коротковолнового инфракрасного диапазона в сочетании с источниками инфракрасного освещения.

5. Технические характеристики продукта

5.1 Камера коротковолнового инфракрасного диапазона

5.2 Объектив коротковолнового инфракрасного диапазона

5.3 Источник инфракрасного света