حل فحص ربط الرقائق
2026-08-28
1. مبدأ العمل
تلصيق الرقائق هو تقنية تغليف على مستوى الرقاقة. تقوم بربط رقائقين أو أكثر مصقولة بنفس المادة أو مواد مختلفة معًا بإحكام. هذه التقنية تحمي الهياكل الداخلية الحساسة للرقائق وتجعل الأجزاء الوظيفية أكثر استقرارًا وموثوقية للاستخدام طويل الأمد.
العديد من العوامل أثناء عملية اللصق يمكن أن تؤثر سلبًا على جودة اللصق وتسبب عيوبًا في الواجهة. لا توجد طرق كثيرة لفحص جودة اللصق، والفحص البصري هو أحد أكثر الطرق شيوعًا. يقوم بتسليط الضوء على سطح الرقاقة، ثم يحدد العيوب بناءً على إشارات الضوء المنعكس أو المتشتت التي يتم جمعها.
بالنسبة لألواح الحامل أو الرقائق المصنوعة من SiC، GaAs، InP ومواد أشباه الموصلات الأخرى، هذه المواد شبه شفافة أو معتمة، لذلك لا يمكن للضوء المرئي أن يمر بوضوح لرؤية عيوب اللصق. يمكن لكاميرات الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة اختراق هذه المواد جيدًا للمراقبة.
إذا كانت هناك مناطق غير ملصقة (فقاعات هواء) بين الرقاقة ولوح الحامل، سينعكس الضوء بشكل متكرر على الأسطح العلوية والسفلية لهذه المناطق الفارغة. بالنسبة للمناطق الملصقة بشكل طبيعي، يمر الضوء مباشرة. تقوم الكاميرا بمعالجة هذا الاختلاف في الضوء وتعرض تباينًا واضحًا بين الضوء والظلام على الشاشة للتمييز بين العيوب.
2. المزايا
- غير تلامسية وخالية من التلف: تستخدم ضوء الأشعة تحت الحمراء للتصوير، لذلك لا تترك علامات أو تلفًا على الرقائق بسبب اللمس المادي.
- سريعة وعالية الدقة: يمكنها مسح الرقاقة بأكملها أو التكبير على مناطق محلية صغيرة. لقطة واحدة تكمل الفحص بسرعة ودقة عالية.
- نتائج فحص واضحة: كاميرات الأشعة تحت الحمراء عالية الحساسية من نوع InGaAs مع مصادر ضوء الأشعة تحت الحمراء تنتج صورًا عالية الدقة وعالية التباين، مما يجعل العيوب سهلة الاكتشاف.
- تطبيق واسع: تعمل مع معظم مواد الرقائق وتناسب الرقائق بجميع الأحجام الشائعة.
- تأتي مع برنامج عرض وتحكم، وتدعم التطوير الثانوي.
3. تكوين النظام
يتكون نظام الفحص من أربعة أجزاء رئيسية: مصدر الضوء، منصة العمل، كاميرا الأشعة تحت الحمراء، وجهاز الكمبيوتر. يوضح الرسم البياني أدناه هيكل النظام.
عند الاختبار، اضبط ارتفاع الكاميرا وطول بؤبؤ العدسة لتغيير مسافة التصوير، بناءً على نوع الرقاقة وحجم العيوب التي تحتاج إلى فحصها.
من الأعلى إلى الأسفل، وهي: كاميرا الأشعة تحت الحمراء، عدسة بصرية، رقاقة ملصقة، مصدر ضوء الأشعة تحت الحمراء.
4. صور الاختبار
صور عيوب الرقائق الملصقة المختلفة الملتقطة عبر كاميرا الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة المتوافقة مع مصادر إضاءة الأشعة تحت الحمراء.
5. مواصفات المنتج
5.1 كاميرا الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| نوع الكاشف | InGaAs FPA |
| النطاق الطيفي | 0.9 ميكرومتر ~ 1.7 ميكرومتر |
| الدقة | 640 × 512 |
| حجم البكسل | 15 ميكرومتر |
| المنطقة النشطة | 9.6 مم × 7.68 مم |
| الكفاءة الكمومية | >70% @ 1.0 ميكرومتر – 1.6 ميكرومتر |
| معدل البكسل الفعال | >99.5% |
| نوع التبريد | غير مبرد |
| معدل الإطارات | 50 هرتز |
| وضع النافذة | يدعم منطقة الاهتمام (ROI) في أي موضع |
| نوع الغالق | غالق عالمي |
| وقت التعرض | 1 ميكرومتر – 1/معدل الإطارات |
| واجهة الإخراج الرقمي | 8/14 بت GigE |
| تنسيق الإخراج التناظري | PAL / NTSC (اختياري، مخصص حسب الطلب) |
5.2 عدسة الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| النطاق الطيفي | 0.9 ميكرومتر ~ 1.7 ميكرومتر |
| الطول البؤري | قابلة للتخصيص |
5.3 مصدر ضوء الأشعة تحت الحمراء
| المعلمة | المواصفات |
|---|---|
| اللون / الطول الموجي | SWIR |
| منطقة الإضاءة | قابلة للتخصيص |
| نوع الإضاءة | مصدر ضوء مساحي |
